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MsL
  • ディスペンサーポンプ：スクリュー、ジェット
  • リニアーサーボ駆動(±5μm）
  • 画像処理＆高さ計測
  • 各種キャリブレーションシステム

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MsL
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Ultra-High Precision Dispenser
Ultra-High Precision Dispenser
Models MsL
Dimension 1,300×1,100×1,380mm
Weight 1500kg
Power Supply AC200V,3Phase,30A
Gantry Speed 1,500mm/s
X / Y Positional Accuracy - 3 sigma ±5μm
Working Area MAX:250×330mm/MIN:50×70mm
Vision Digital Camera
Height Sensor Laser Sensor
ロボットタイプ
  • 3次元塗布を実現。
  • 優れた位置精度と繰り返し制度でアプリケーションの微細化に適応。
  • 短い整定時間でタクトアップを実現
Vision 計測
  • 高速画像処理を実現、生産時に要する画像処理を大幅削減します。
  • Vision繰返し精度：±1μm 
  • 0.01sec/point
  • 搭載部品の塗布位置補正機能(±1um単位での補正及びθ方向補正)
高さ計測システム
  • 非接触式レーザー変位計を搭載。
  • 対象製品の１μｍの反りを事前計測し、 最適なディスペン条件を実地。
  • 繰返し精度：±1μm
  • 0.01 sec/point
  • ニードル高さ補正機能
検査機能
  • 誤品種混入チェック機能
  • 搬入基盤の方向確認
  • 塗布後の形状、塗布量検査機能
  • 塗布後の高さ検査機能
  • バットマーク機能
  • 捨て打ち状態の検査機能（塗布形状など）
  • 塗布重量検査機能
  • アンダーフィル塗布面積検査機能
自動キャリブレーションシステム
  • ポンプ、高さユニット、画像処理ユニットの取り付け位置の自動キャリブレーション ディスペンサーポンプ、高さ計測、カメラの設置位置関係の自動位置補正
  • ニードル検査・位置補正システム
  • ノズルのキャリブレーション
    → ノズル取り付け位置誤差キャリブレーション
    → ニードル曲り検査機能
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送信完了
お送りいただきました内容を確認し、追って担当よりご連絡を差し上げます。
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